Jean-Luc Battaglia

I2M Bordeaux Unité TREFLE

Radiométrie Photothermique pulsée périodique en configuration face avant pour la caractérisation thermique d’une couche de Si3N4 amorphe

La technique de radiométrie photothermique pulsée périodique en face avant (PPTR FF) permet d’estimer la conductivité thermique et certaines résistances d’interface entre des couches ainsi que l’épaisseur de ces couches. La procédure expérimentale est basée sur la réponse de la face avant à une impulsion laser, de quelques nanosecondes, répétée périodiquement à haute fréquence. Cette excitation est donc assimilable à un peigne de Dirac.